基于混合式特征选择模型的晶圆允收测试关键参数识别方法

吕佑龙, 许鸿伟, 郑城, 张洁, 郑鹏

中国机械工程 ›› 2020, Vol. 31 ›› Issue (16) : 1978-1984,1997.

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中国机械工程 ›› 2020, Vol. 31 ›› Issue (16) : 1978-1984,1997. DOI: 10.3969/j.issn.1004132X.2020.16.010 开放科学(资源服务)标识码(OSID)：
智能制造

基于混合式特征选择模型的晶圆允收测试关键参数识别方法

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Wafer Acceptance Test Key Parameter Identification Based on Hybrid Feature Selection Method

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